產品詳情
  • 產品名稱:SIMCO離子風棒5635M Bar

  • 產品型號:SIMCO5635M Bar
  • 產品廠商:美國SIMCO(思美高)靜電產品
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簡單介紹:
SIMCO離子風棒5635M Bar Aerobar 5635 MP 離子棒的 MP 技術能容易設置和微調參數 - 輸出電壓,脈衝頻率,正負平衡,以符合不同環境和產品對靜電的敏感要求。在棒長短於 60 cm 時,靜電針的間距是 5 cm,這樣能給出更濃密和更平均的離子覆蓋。SIMCO離子風棒5635M Bar
詳情介紹:

SIMCO離子風棒5635M Bar  

Simco-Ion Aerobar 5635 MP 離子棒能提供快速靜電消散,低殘餘電壓擺幅,和精準的離子平衡,是設計用於有嚴格要求的超高潔淨半導體或有同類的製程環境。它采用 MP 技術 - 把高頻正旋周波和調製脈衝結合 - 產生高輸出量的離子和把它們推送至目標表麵,這突破的技術使 5635MP 離子棒能安裝在晶圓的 15 cm 距離內。同時配合超高潔淨的靜電針和**的參數調整,使它達到超越 ISO Class 1 潔淨水平的

Extended ISO Class 1”潔淨度,適合更微小的先進技術製程。選配的吹氣輔助功能,在潔淨要求不高的環境,能加快離子的推送,得到更快的消散時間和有更遠的工作距離。


Aerobar 5635 MP 離子棒的 MP 技術能容易設置和微調參數 - 輸出電壓,脈衝頻率,正負平衡,以符合不同環境和產品對靜電的敏感要求。在棒長短於 60 cm 時,靜電針的間距是 5 cm,這樣能給出更濃密和更平均的離子覆蓋。



ISO 14644-12 (0.01 mm 微粒) 潔淨度

• 可兼容包括 14 nm 和以下的所有晶圓技術

• 調製脈衝技術

• 精準的正負平衡,高離子輸出量,和長期穩定

• **的橫向均勻度

• 整根棒的離子平衡都一致

• 低電場電壓

• 可安全靠近晶圓或光罩,放置距離可近至 15 cm

• 吹氣輔助功能

• 在快速的自動設備,能增強消除靜電的能力

• 選配的軟件有易用的介麵和寬闊的可調性 

• 在任何環境都能快速設定和容易調至*佳效能

• 警報輸出信號 

• 能輸出至設備或遠端監控係統


型號 5635 MP 離子棒的設計是使用在 ISO 14644-1 Class1 潔淨度的環境 (每立方米少過 10 @ 0.1 micron 的微粒)。如把輸出功率設在 45-50% 和使用 OpenJet 風嘴和單晶矽靜電針,它可兼容 ISO 14644-12 潔淨度 (每立方米少過1200 @ 0.01 micron 的微粒)


型號 5601 電源分配盒可作為中央電源和軟件控製,能連接 8 5635 MP 離子棒。


Aerobar 5635 MP 離子棒隻要連上 24  VDC 電源即可工作,如需要也可接入氣源作吹氣輔助。DIP 開關可設定功率輸出,可根據說明書的建議,設定需要的消散效能。然後在棒上微調操作參數,或透過連接的電腦軟件調節,以達到*佳的離子平衡,*小的電壓擺幅,和*快的消散時間。在信號和電源的接線盒上的警報連接能輸出至設備或中央控製室作遠端設備監控。



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